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可靠性測試設備在芯片生產中的應用

 更新時間:2022-11-07 點擊量:920

從近幾年國產半導體設備發展的情況來看,在國產設備企業在政策和資金大力支持下,國內半導體設備廠商得以在刻蝕、薄膜沉積、測試等多個領域不斷取得突破——根據德邦證券的調研報告顯示,中微公司和北方華創分別在CCP和ICP刻蝕設備領域取得突破,部分產品已進入先進制程生產線驗證;北方華創在PVD領域實現了國產高*薄膜制備設備零的突破,設備覆蓋了90-14nm多個制程,沈陽拓荊CVD設備成功進入長江存儲生產線。華峰測控模擬測試機國內*占率已達60%,后續SOC項目推進可能為公司帶來新的增長空間。

 

但除了這些廣為被業界所知的半導體設備以外,可靠性測試設備也是半導體產業發展中的重要環節。據了解,可靠性測試設備能夠模擬環境并通過檢測確保產品達到在研發、設計、制造中預期的質量目標。而這種檢測方式一方面可以保障企業產品品質,同時也能夠提升企業產品在市場中的競爭力。

 

其中,半導體溫度測試系統也是環境可靠性測試中的重要一環,相關媒體報道稱,半導體溫度測試系統對于國內提供相關設備的企業來說,有較大的業務增長點,待建廠完畢后,相應的IC設計、晶圓制造及加工、封測等相關企業開始運轉,半導體溫度測試系統也將迎來新的需求增長。

 

具體來看,從電子工程專輯此前的報道中顯示,在晶圓測試中所涉及的溫度測試,目前主要有三種應用:


1.根據Arrhenius的方程原理,半導體行業認識到溫度可以用來估計設備的壽命,因此,用溫度測試來確定高溫工作壽命(HTOL:High-temperature Operating Life)。

 

2.有特定用途的設備,如應用于空間、戶外和汽車,需要承受更惡劣的環境和廣泛的溫度范圍。例如,所有的汽車芯片通常需要在-40℃到+150℃的范圍內進行測試。

 

3.高壓芯片(例如高性能微處理器)的電子測試和大規模并行測試(DRAM和NAND芯片)是業界*的挑戰,需要迅速有效的冷卻以避免燒壞芯片。

 

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